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发明名称 KRYOSTAT MIT KRYOKUEHLER
摘要
申请公布号 DE4019816(A1) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 DE19904019816 申请日期 1990.06.21
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAHO, NORIHIDE, TSUCHIURA, JP;NEMOTO, TAKEO, IBARAKI, JP;SHIZUOKA, YOSHIHIDE, HITACHI, JP
分类号 H01L39/04;F02G1/044;F17C13/00;F25D19/00;G01R33/3815;H01F6/04 主分类号 H01L39/04
代理机构 代理人
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