发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 US4981806(A) 申请公布日期 1991.01.01
申请号 US19900504194 申请日期 1990.04.03
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 MAAS, HENRICUS G. R.;VAN ES, ROLAND A.;VAN DER VELDEN, JOHANNES W. A.;KRANEN, PETER H.
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3215;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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