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发明名称 METHOD OF FILM INSPECTION WITH A MICROSCOPICAL IMAGE ANALYZER
摘要
申请公布号 EP0171855(B1) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 EP19850201270 申请日期 1985.08.05
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 JANSSON, PETER ALLAN;RUBIN, BARRY;MERRILL, MICHAEL JAMES;OWENS, DANIEL KENYON
分类号 G01B11/30;G01N15/02;G01N15/14;G01N21/88;G06K9/38 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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