发明名称 FORMATION OF FILM BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH02263983(A) 申请公布日期 1990.10.26
申请号 JP19890084951 申请日期 1989.04.04
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 MIKURIYA TETSUO;TAKAHASHI HIDEJI
分类号 C23C14/54;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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