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发明名称 FORMATION OF GROOVE
摘要
申请公布号 JPH02238624(A) 申请公布日期 1990.09.20
申请号 JP19890059263 申请日期 1989.03.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KASE MASA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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