发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02231711(A) 申请公布日期 1990.09.13
申请号 JP19890052255 申请日期 1989.03.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KISHIMOTO SATORU
分类号 H01L21/266 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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