发明名称 Process for fabricating charge-coupled device with reduced surface state at semiconductor-insulator interface
摘要
申请公布号 US4952523(A) 申请公布日期 1990.08.28
申请号 US19890331701 申请日期 1989.03.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 FUJII, ICHIRO
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L27/148;H01L29/10;H01L29/76;H01L29/772 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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