发明名称 ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH02194619(A) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 JP19890014677 申请日期 1989.01.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MORIYAMA MASASHI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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