| 发明名称 |
IMPROVED METHOD AND APPARATUS FOR MICROWAVE TRANSIENT SPECTROSCOPY OF DEEP LEVELS IN SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL92340(D0) |
申请公布日期 |
1990.07.26 |
| 申请号 |
IL19890092340 |
申请日期 |
1989.11.17 |
| 申请人 |
MAGYAR TUDOMANYOS AKADEMIA MUSZAKI FIZIKAI KUTATO INTREZETE;GEME TEC, GESELLSCHAFT FUER MESSTECHNIK UND TECHNOLOGIE MBH |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N22/00;G01R23/163;(IPC1-7):G01N/ |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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