| 发明名称 |
DISPOSITIF POUR LE TRAITEMENT EN PHASES GAZEUSES DE PIECES D'OEUVRE EN FORME DE PLAQUES, NOTAMMENT DES REACTEURS POUR LE DEPOT CHIMIQUE SOUS PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2635377(B3) |
申请公布日期 |
1990.07.20 |
| 申请号 |
FR19890010295 |
申请日期 |
1989.07.31 |
| 申请人 |
ELEKTROMAT DRESDEN |
发明人 |
RAINER MOLLER;DIETMAR RESCH;LUTZ FABIAN |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/44;C23C16/509;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):F27D7/02;C23C16/00;F27B5/04;F27B5/16;F27D1/12 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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