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发明名称 BURN-IN DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02170069(A) 申请公布日期 1990.06.29
申请号 JP19880327025 申请日期 1988.12.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKASHITA NORIYOSHI;SHIRAISHI TAKETORA
分类号 G01R31/28;G11C29/00;G11C29/02;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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