发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02144912(A) |
申请公布日期 |
1990.06.04 |
申请号 |
JP19880298108 |
申请日期 |
1988.11.28 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO RYUICHI;IKEDA TAKAHIDE;HIRAISHI ATSUSHI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/768;H01L21/8222;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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