| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING CERAMIC FILM USING PLASMA AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02137722(A) |
申请公布日期 |
1990.05.28 |
| 申请号 |
JP19880288069 |
申请日期 |
1988.11.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
SUZUKI GENICHI;HAGINO SADAAKI;TAKESHITA TAKUO |
| 分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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