SWITCH MATRIX WITH NON-LINEAR OPTICAL ELEMENTS AND PROCESS FOR MANUFACTURING IT.

摘要

Die Erfindung betrifft eine Schaltermatrix mit optisch nichtlinearen, z.B. bistabilen Elementen, von denen jedes aus einer auf einem Substrat (7) aufgebrachten optisch aktiven Schicht besteht und ein Verfahren zu deren Herstellung. Die Substratoberfläche weist eine aus Säulen (2) bestehende Mikrostruktur auf, bei der jede als Schaltelement vorgesehene Säule mit mindestens einer optisch aktiven Schicht (4) ausgestattet ist. Durch die Säulenstruktur wird die Wechselwirkung durch thermischen Kontakt und Diffusion von Ladungsträgern durch die optisch aktive Schicht und durch das Substrat weitgehend unterbunden. Das angegebene LIGA-Verfahren erlaubt für eine preiswerte Massenproduktion solcher strukturierter Substrate durch die Abformung mit Kunststoffen. Damit können in vorteilhafter Weise sowohl transparente als auch nicht transparente Substrate mit hohen Aspektverhältnissen bei genügender Stabilität hergestellt werden. Abstract A switch matrix comprises non-linear optical (e.g. bistable) elements each consisting of an optically active layer applied to a substrate (7). The surface of the substrate has a microstructure composed of pillars (2) each of which functions as a switch element and has at least one optically active layer (4). The pillar structure prevents interaction due to thermal contact and diffusion of charge carriers across the optically active layer and the substrate. The lithographic-galvanic (LIGA) process described is suited to the mass production of these structured substrates by moulding plastics. Both transparent and opaque substrates with high apsect ratios and adequate stability can be advantageously manufactured in this way.