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发明名称 VACUUM CHAMBER FOR IONIC IMPLANTATION
摘要
申请公布号 CS8809022(A1) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 CS19880009022 申请日期 1988.12.29
申请人 DYNDA VLADIMIR ING. CSC.,CS;NOVOTNY KAREL,CS;AMBROZ ZDENEK ING.,CS;KABICEK JIRI ING.,CS 发明人 DYNDA VLADIMIR ING. CSC.,CS;NOVOTNY KAREL,CS;AMBROZ ZDENEK ING.,CS;KABICEK JIRI ING.,CS
分类号 C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/687;(IPC1-7):C30B31/22 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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