发明名称 RESIST-SPIN-COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02123732(A) 申请公布日期 1990.05.11
申请号 JP19880276021 申请日期 1988.11.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIGEMATSU KAZUMASA
分类号 G03F7/16;B05D1/40;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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