| 发明名称 |
SUBSTRATE HOLDER ROTATING SYSTEM OF EVAPORATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02114492(A) |
申请公布日期 |
1990.04.26 |
| 申请号 |
JP19880269050 |
申请日期 |
1988.10.24 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
IWAMOTO FUMIO;ISAKA KINICHI;KISHISHITA HIROSHI;KAMIIDE HISASHI |
| 分类号 |
H05B33/10;C23C14/50;H01L21/203 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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