发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0296378(A) 申请公布日期 1990.04.09
申请号 JP19890128810 申请日期 1989.05.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMIZU SHINJI;KOMORI KAZUHIRO;OSA YASUNOBU;SUGIURA JUN
分类号 H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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