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经营范围
发明名称
RESIST FOR PROCESSING WITH HIGH ENERGY BEAM
摘要
申请公布号
JPH0249011(A)
申请公布日期
1990.02.19
申请号
JP19880200540
申请日期
1988.08.11
申请人
SOMAR CORP
发明人
OCHI HIDEO;KITAORI TOMOYUKI
分类号
C08F212/14;C08F12/00;G03F7/038
主分类号
C08F212/14
代理机构
代理人
主权项
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