发明名称 SILICON THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0225037(A) 申请公布日期 1990.01.26
申请号 JP19880174436 申请日期 1988.07.13
申请人 SEIKOSHA CO LTD;NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 TANAKA SAKAE;WATANABE YOSHIAKI;SHIRAI KATSUO;SAITO KAZUNORI
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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