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发明名称 INTERFERENCE METHOD AND INTERFEROMETER FOR MEASURING NON-SPHERICAL SURFACE BY OPTICAL SPACE PHASE MODULATION ELEMENT USING LIQUID CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0221207(A) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 JP19880171427 申请日期 1988.07.08
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 TOOMASU BAANZU;MATSUDA JOJI;OYAMA NAOTAKE
分类号 G01B11/24;G01B9/02 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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