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发明名称
CHARGED BEAM DRAWING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0212809(A)
申请公布日期
1990.01.17
申请号
JP19880160767
申请日期
1988.06.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
IKENAGA OSAMU;YOSHIKAWA RYOICHI;KOYAMA KIYOMI
分类号
H01L21/30;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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