发明名称 |
PHOTOSENSITIVE POLYMER HAVING THIOL GROUP |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH023053(A) |
申请公布日期 |
1990.01.08 |
申请号 |
JP19880151664 |
申请日期 |
1988.06.20 |
申请人 |
CHISSO CORP |
发明人 |
MAEDA SUKETOSHI;KUNIMUNE KOICHI |
分类号 |
G03F7/012;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/037;G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/012 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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