发明名称 MEASURING INSTRUMENT FOR CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01313781(A) 申请公布日期 1989.12.19
申请号 JP19880146371 申请日期 1988.06.14
申请人 NEC CORP 发明人 TAKATSUKI KUNIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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