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发明名称 Light-sensitive naphthoquinone diazide composition and material containing an alkali insoluble polymer
摘要
申请公布号 US3402044(A) 申请公布日期 1968.09.17
申请号 US19640413286 申请日期 1964.11.23
申请人 SHIPLEY COMPANY, INC. 发明人 STEINHOFF THOMAS L.;JR. CHARLES R. SHIPLEY,;MACDONALD JOHN A.
分类号 C23F1/02;G03F7/023 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
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