发明名称 ELECTRON BEAM PROJECTOR
摘要
申请公布号 JPH01213948(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880316576 申请日期 1988.12.16
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 TEIMOSHII ROBINSON GUROOBUSU;HANZU KURISUCHIN PUAIFUAA;WAANAA SUTEIKERU;MAARISU ANDORISU SUTEIRANZU
分类号 H01J37/04;H01J37/141;H01J37/147;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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