| 摘要 |
<p>Procédé de microscopie optique confocale à balayage et en profondeur de champ étendue et dispositifs pour la mise en oeuvre du procédé. Le procédé consiste à former un faisceau lumineux principal constitué d'une pluralité de faisceaux lumineux secondaires se distinguant les uns des autres par au moins une de leurs caractéristiques, diriger le faisceau lumineux principal vers des moyens (30) de focalisation, focaliser sur un objet à étudier, grâce aux moyens (30) de focalisation, en des points d'altitude différente, les différents faisceaux lumineux secondaires, renvoyer les faisceaux lumineux secondaires réfléchis par l'objet à étudier vers un système (20) de détection, détecter l'intensité des faisceaux secondaires, analyser et traiter numériquement les signaux détectés, effectuer un balayage du faisceau lumineux principal sur la totalité de l'objet à étudier. Application à l'inspection en microélectronique.</p> |
