| 发明名称 |
SURFACE SHAPE MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01173805(A) |
申请公布日期 |
1989.07.10 |
| 申请号 |
JP19870058310 |
申请日期 |
1987.03.13 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NARUMI KOJI;WATANABE KEIJI;HOSAKA KOTARO;HIGOMURA MAKOTO;YAMAMOTO SEKINORI;NOSE TETSUSHI;NIWA YUKICHI;OWADA MITSUTOSHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/255;G01M11/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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