发明名称 DIFFERENTIAL-PRESSURE SEALER FOR INNER AND OUTER DIFFERENTIAL-PRESSURE CHAMBER OF CONTINUOUS VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01172570(A) 申请公布日期 1989.07.07
申请号 JP19870327450 申请日期 1987.12.25
申请人 KAWASAKI STEEL CORP;ULVAC CORP 发明人 SUZUKI FUMIHITO;KATSURA SHIGEFUMI;TAKAHASHI NORIO;NAGAMINE TSUNEO;NAKAHARA HISANAO
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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