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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES GEMUSTERTEN FILMES AUF EINER SUBSTRATOBERFLAECHE UNTER VERWENDUNG EINES METALLALKOXIDSOLS
摘要
申请公布号 DE3841255(A1) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 DE19883841255 申请日期 1988.12.07
申请人 CENTRAL GLASS CO., LTD., UBE, YAMAGUCHI, JP 发明人 MAKITA, KENSUKE, MIE, JP;HATTORI, AKIMASA;TANAKA, KATSUTO, MATSUSAKA, JP
分类号 H01L21/316;C03C17/23 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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