发明名称 METHOD AND DEVICE FOR APPLYING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01160084(A) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 JP19870319550 申请日期 1987.12.17
申请人 SOMAR CORP 发明人 HAMAMURA FUMIO
分类号 B29C63/02;B29C31/00;B32B37/22;G03C1/74;G03F7/16;H05K3/00;H05K3/06 主分类号 B29C63/02
代理机构 代理人
主权项
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