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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR APPLYING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01160084(A)
申请公布日期
1989.06.22
申请号
JP19870319550
申请日期
1987.12.17
申请人
SOMAR CORP
发明人
HAMAMURA FUMIO
分类号
B29C63/02;B29C31/00;B32B37/22;G03C1/74;G03F7/16;H05K3/00;H05K3/06
主分类号
B29C63/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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