| 发明名称 |
SHOWER ELECTRODE FOR PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01156477(A) |
申请公布日期 |
1989.06.20 |
| 申请号 |
JP19870315690 |
申请日期 |
1987.12.14 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
ISHIDA SADANORI;KOMURA YUKIO;NISHIMOTO TAKUYA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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