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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ERMITTLUNG DER LAGE VON HAUPT- UND NEBENFASE AN HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD268653(A1) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 DD19880313011 申请日期 1988.02.19
申请人 VEB ELEKTROMAT DRESDEN,DD 发明人 BRUNOW,DIETER,DD;BURMEISTER,DIETRICH,DD;GROSSMANN,HUBERT,DD;LOHSE,HEINER,DD;MILDE,STEFFEN,DD
分类号 B23Q15/22;(IPC1-7):B23Q15/22 主分类号 B23Q15/22
代理机构 代理人
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