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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01143321(A) 申请公布日期 1989.06.05
申请号 JP19870299926 申请日期 1987.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAJI SHIGEHIKO
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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