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发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPH01133324(A) 申请公布日期 1989.05.25
申请号 JP19870292999 申请日期 1987.11.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO SHINYA
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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