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发明名称 FORMATION OF SIO2 FILM
摘要
申请公布号 JPH01129420(A) 申请公布日期 1989.05.22
申请号 JP19870288901 申请日期 1987.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAWA KIYOSHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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