发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01122164(A) 申请公布日期 1989.05.15
申请号 JP19870280520 申请日期 1987.11.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO SHIGEO
分类号 H01L21/265;H01L21/326;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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