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经营范围
发明名称
DEVICE FOR MANUFACTURING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6476716(A)
申请公布日期
1989.03.22
申请号
JP19870232285
申请日期
1987.09.18
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SAKUMA HISASHI;NOZAKI HIDETOSHI
分类号
H01L21/205;H01L21/263
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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