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发明名称
IMPROVED PROCESS FOR THE PRODUCTION OF ULTRA HIGH PURITY POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号
EP0294908(A3)
申请公布日期
1989.03.01
申请号
EP19880201194
申请日期
1988.06.10
申请人
UNION CARBIDE CORPORATION
发明人
BRENEMAN, WILLIAM C.;FLAGELLA, ROBERT N.;GASTON, JON M.;HAGAN, DAVID W.
分类号
C01B33/02;C01B33/035;(IPC1-7):C01B33/02
主分类号
C01B33/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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