| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITED PHOTORESISTS OF ANIONICALLY POLYMERIZABLE MONOMERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0233747(A3) |
申请公布日期 |
1989.02.08 |
| 申请号 |
EP19870301125 |
申请日期 |
1987.02.10 |
| 申请人 |
LOCTITE (IRELAND) LTD. |
发明人 |
WOODS,JOHN G.;ROONEY,JOHN M. |
| 分类号 |
C08F2/48;C08F2/54;G03C1/72;G03C1/74;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16;G03F7/02 |
主分类号 |
C08F2/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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