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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6425435(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870182703 申请日期 1987.07.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHII TATSUYA
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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