主权项 |
1、半导体密封磁力传动快速退火装置,由石英退火腔5,高频加热线圈7,石墨板8,氢气净化器2,氮气净化器3,保护气体输送管9,红外线测温仪10及加热控制器1构成,还包括保护气体喷管6,退火腔端帽4,导管13,石英杆14,铁块15,磁钢16,其特征在于:a)在上述半导体快速退火装置中,在石英退火腔5内有一个水平放置的“Y”形保护气体喷管6,喷管6内侧开有若干小喷气孔,有一个带有排气管的退火腔端帽4与石英退火腔5的左端密封连接,有一个末端封闭的导管13与石英退火腔5的右端密封连接,导管13内有一根石英杆14,石英杆14左端与一石英托架11连接,石英杆14右端与一石英包封铁块15密封烧结;b)在上述半导体快速退火装置中,有一块石墨板8架在“Y”形保护气体喷管6的上面,石英托架11可在“Y”形保护气体喷管6的内侧移动,并与“Y”形保护气体喷管6保持在一个平面内;c)在上述半导体快速退火装置中,导管13内的密封烧结铁块15可在导管内灵活移动,石英杆14的左端有一支架12,使得石英托架11和石英杆14和密封烧结铁块15可以在水平方向移动;d)在上述半导体快速退火装置中,导管13外套有一块磁钢16,驱动磁钢16可带动密封烧结铁块15在导管13内移动。 |