| 摘要 |
On dispose d'une source d'ions mobile dans un appareil servant à l'implantation d'ions, afin d'envoyer des ions depuis différentes directions sur des objets cibles volumineux. La source d'ions peut être connectée sur la face extérieure d'une chambre à vide ou sur un bras mobile situé dans ladite chambre. La source d'ions est acheminée à la fois par du gaz et de l'électricité via un câble unique. Le câble d'acheminement présente une structure à plusieurs couches, dans laquelle le flux du gaz est porté le long d'un tube interne relativement fin portant également les conducteurs h.t. d'émission et de retour. Un tube relativement épais est disposé autour du tube interne pour isoler les conducteurs d'émission et de retour par rapport à un conducteur de terre et pour assurer une résistance mécanique. Un couplage spécial est utilisé pour connecter entre eux le câble d'acheminement et le logement de la source d'ions. |
