发明名称 PROCESS FOR DEFINING VIAS THROUGH SILICON NITRIDE AND POLYIMIDE
摘要
申请公布号 EP0263348(A3) 申请公布日期 1988.10.05
申请号 EP19870113825 申请日期 1987.09.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 NANDA, MADAN MOHAN;PETERMAN, STEVEN LOUIS;STANASOLOVICH, DAVID
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/60 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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