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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6348839(B2) 申请公布日期 1988.09.30
申请号 JP19800031434 申请日期 1980.03.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TANNO YUKINOBU
分类号 C30B25/18;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/322 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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