| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FILM OF ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63194393(A) |
申请公布日期 |
1988.08.11 |
| 申请号 |
JP19870026930 |
申请日期 |
1987.02.07 |
| 申请人 |
DENSHI GIKEN:KK |
发明人 |
HOSHIMI HIROSHI;NAKATSUBO HITOSHI;KIKUCHI HITOSHI |
| 分类号 |
B05C5/00;B05D1/02;B05D1/26;B05D3/02;H05K3/28 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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