发明名称
摘要
申请公布号 JPS6335094(B2) 申请公布日期 1988.07.13
申请号 JP19790109894 申请日期 1979.08.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEMA TAKEARI
分类号 H01L21/027;H01J37/304;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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