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发明名称 INTEGRATED CIRCUITS HAVING STEPPED DIELECTRIC REGIONS
摘要
申请公布号 EP0259098(A3) 申请公布日期 1988.05.18
申请号 EP19870307579 申请日期 1987.08.27
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 LEE, KUO-HUA;POLANCO, SAMUEL EFRAIN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/316 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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