| 发明名称 |
INTERATOMIC FORCE SENSOR-HEAD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6391502(A) |
申请公布日期 |
1988.04.22 |
| 申请号 |
JP19870202008 |
申请日期 |
1987.08.14 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
URUSU SEODOO JIYURIJI;JIEEMUSU KAZUMIIZU JIMESUKII;JIYOHAN GURICHIENAA;BUORUFUGAAN DEITAA POORU;OORAFU UORUTAA |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01D5/04;G01L1/00;G01L1/04;G01N13/00;G01N23/00;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/38;G01Q70/14;H01J37/26;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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