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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6384051(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860229050 申请日期 1986.09.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 SEKIGUCHI TOSHIO;NOZAKI HIDEYO
分类号 H01L27/14;H01L23/02 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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